晶圓表面/背面/邊緣瑕疵檢查系統

晶圓瑕疵檢查系統，包括表面缺陷檢測、邊緣檢測和背面檢測。我們的系統旨在檢測各種類型的缺陷，例如刮痕、汙染、顆粒、異物、變色、斷線、缺件、溢膠、破裂…等。