LED 晶粒外觀檢查機

  • TDI Line Scan Inspection
  • Relative Threshold Method
    –無Wafer 色差誤報
  • 專利背光設計,無藍膜背汙誤判
  • LED 光源,低Running Cost
  • 依產品快速變換檢測Recipe
  • Specification
    –Wafer Size:2”~ 6”
    –Resolution:1.4 μm / 2.8μm
    –Tact Time:60sec / 2” wafer
分類:


Multi – Resolution


High Precision Stage


Auto Frame LD/ULD

程式介面


區域分類


參數分區設定

Defect Type

檢測項目–高功率LED